Vákuumos bevonógép működési elve

A vákuumbevonatoló gép olyan eszköz, amely vékony fémrétegeket visz fel a hordozó felületére.Alapvető működési elve három lépésből áll: tisztítás, párologtatás és leválasztás.
1. Tisztítás
A párologtató leválasztás előtt a párologtató kamrát ki kell tisztítani.Mivel az elpárologtató kamra felületén oxidok, zsír, por és egyéb anyagok tapadhatnak, ezek befolyásolják a film minőségét.A tisztítás általában kémiai vagy fizikai módszerekkel történik.
2. párolgás
A kívánt anyagot olvadáspontja fölé hevítik, így gáznemű molekulákat képez.A gáznemű molekulák ezután a vákuumkamrában az elpárologtató kamrába távoznak.Ezt a folyamatot párolgásnak nevezik.A hőmérséklet, a nyomás és a párolgási sebesség befolyásolja a film összetételét, szerkezetét és tulajdonságait.
3. Lerakódás
Az elpárologtató kamrában lévő anyag gáz-halmazállapotú molekulái a vákuumcsövön keresztül belépnek a reakciókamrába, reakcióba lépnek az aktív anyaggal, majd a terméket lerakják a hordozó felületére.Ezt a folyamatot ülepedésnek nevezik.A hőmérséklet, a nyomás és a lerakódás sebessége szintén befolyásolja a film minőségét és teljesítményét.
2. Alkalmazás
A vákuumbevonatoló gépeket széles körben használják az anyagtudományban, az optikában, az elektronikában és más területeken.
1. Anyagtudomány
A vákuumbevonatoló gépek különféle fémekből, ötvözetekből, oxidokból, szilikátokból és egyéb anyagokból vékony filmeket készíthetnek, és széles körben használják bevonatok, optikai filmek, optikai tárolók, kijelzők, tranzisztorok és más területeken.
2. Optika
A vákuumbevonatoló gép nagy fényvisszaverő képességű fém- és ötvözetfóliákat, valamint speciális funkciójú optikai filmeket tud készíteni.Ezek a filmek felhasználhatók napelemekben, nagy teljesítményű elektronmikroszkópokban, aerogélekben, UV/IR érzékelőkben, optikai szűrőkben és más területeken.
3. Elektronika
A vákuumbevonatoló gépek nanoméretű elektronikus anyagokat és mikroelektronikai eszközöket készíthetnek.Ezek a filmek nanotranzisztorokban, mágneses memóriákban, szenzorokban és egyéb mezőkben használhatók.
Röviden: a vákuumbevonatoló gép nemcsak különféle vékonyréteg-anyagokat tud készíteni, hanem szükség szerint speciális funkciókkal rendelkező vékonyrétegeket is készít.A jövőben a vákuumbevonat technológiáját szélesebb körben használják és népszerűsítik.