Vákuumos bevonógép működési elve

A vákuumbevonatoló gép olyan eszköz, amely vékony fémrétegeket visz fel a hordozó felületére. Alapvető működési elve három lépésből áll: tisztítás, párologtatás és leválasztás.
1. Tisztítás
A párologtató leválasztás előtt a párologtató kamrát ki kell tisztítani. Mivel az elpárologtató kamra felületén oxidok, zsír, por és egyéb anyagok tapadhatnak, ezek befolyásolják a film minőségét. A tisztítás általában kémiai vagy fizikai módszerekkel történik.
2. párolgás
A kívánt anyagot olvadáspontja fölé hevítik, így gáznemű molekulákat képez. A gáznemű molekulák ezután a vákuumkamrában az elpárologtató kamrába távoznak. Ezt a folyamatot párolgásnak nevezik. A hőmérséklet, a nyomás és a párolgási sebesség befolyásolja a film összetételét, szerkezetét és tulajdonságait.
3. Lerakódás
Az elpárologtató kamrában lévő anyag gáznemű molekulái a vákuumcsövön keresztül bejutnak a reakciókamrába, reakcióba lépnek az aktív anyaggal, majd a terméket lerakják a hordozó felületére. Ezt a folyamatot ülepedésnek nevezik. A hőmérséklet, a nyomás és a lerakódás sebessége szintén befolyásolja a film minőségét és teljesítményét.
2. Alkalmazás
A vákuumbevonó gépeket széles körben használják az anyagtudományban, az optikában, az elektronikában és más területeken.
1. Anyagtudomány
A vákuumbevonatoló gépek különféle fémekből, ötvözetekből, oxidokból, szilikátokból és egyéb anyagokból vékony filmeket készíthetnek, és széles körben használják bevonatok, optikai filmek, optikai tárolók, kijelzők, tranzisztorok és más területeken.
2. Optika
A vákuumbevonatoló gép nagy fényvisszaverő képességű fém- és ötvözetfóliákat, valamint speciális funkciójú optikai filmeket tud készíteni. Ezek a filmek felhasználhatók napelemekben, nagy teljesítményű elektronmikroszkópokban, aerogélekben, UV/IR érzékelőkben, optikai szűrőkben és más területeken.
3. Elektronika
A vákuumbevonatoló gépek nanoméretű elektronikus anyagokat és mikroelektronikai eszközöket készíthetnek. Ezek a filmek nanotranzisztorokban, mágneses memóriákban, szenzorokban és egyéb mezőkben használhatók.
Röviden: a vákuumbevonatoló gép nem csak különféle vékonyréteg-anyagokat tud készíteni, hanem szükség szerint speciális funkciójú vékonyrétegeket is készít. A jövőben a vákuumbevonat technológiáját szélesebb körben használják és népszerűsítik.